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台湾清华大学开发采用CMOS工艺的触觉传感器

来源:<a href='http://bbs.hqew.com/viewthread.php?tid=313561' target='_blank'>zhouhuajun</a> 作者:华仔 浏览:636

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摘要: 台湾国立清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。此次开发的传感器中,手触部分由带保护膜的金属薄膜构成,这层薄膜与下面的金属薄膜构成电容器。手触后,金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生变化。通过这种变化实现触觉的感知。为了实现CMOS工艺下的开发,牺牲层使用了金属。这样一来,金属薄膜就会在牺牲层刻蚀阶段被一同刻蚀处理掉,因此预先对最终所需要的金属薄膜进行了钝化处理,以确保不被刻蚀处理。

    台湾国立清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。
  此次开发的传感器中,手触部分由带保护膜的金属薄膜构成,这层薄膜与下面的金属薄膜构成电容器。手触后,金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生变化。通过这种变化实现触觉的感知。
  为了实现CMOS工艺下的开发,牺牲层使用了金属。这样一来,金属薄膜就会在牺牲层刻蚀阶段被一同刻蚀处理掉,因此预先对最终所需要的金属薄膜进行了钝化处理,以确保不被刻蚀处理。试制品使用了台积电的2层聚合物4层金属的0.35μm工艺。
型号 厂商 价格
EPCOS 爱普科斯 /
STM32F103RCT6 ST ¥461.23
STM32F103C8T6 ST ¥84
STM32F103VET6 ST ¥426.57
STM32F103RET6 ST ¥780.82
STM8S003F3P6 ST ¥10.62
STM32F103VCT6 ST ¥275.84
STM32F103CBT6 ST ¥130.66
STM32F030C8T6 ST ¥18.11
N76E003AT20 NUVOTON ¥9.67
型号/产品名 平均报价 涨跌幅
STM8S003F3P6 1.55 1.12%
74HC573D 0.64 2.86%
2N7002 3.66 400.00%
STM32F103C8T6 7.47 27.87%
1N4007 1.58 0.00%
ADM2483BRWZ 8.90 3.21%
SHT10 16.21 5.88%
STM32F103RCT6 12.56 24.44%
LM358 118206.75 16.67%
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