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关键词：
加速度传感器是基于单片CMOS集成电路制造工艺而生产出来的一个完整的加速度测量系统。
根据牛顿第二定律：A（加速度）=F（力）/M(质量)
只需测量作用力F就可以得到已知质量物体的加速度。利用电磁力平衡这个力，就可以得到作用力与电流（电压）的对应关系，通过这个简单的原理来设计加速度式、谐振式等。
发展趋势:
1、研制高g值加速度传感器
2、微型化多轴传感器的研究
3、实现技术与CMOS工艺的兼容
4、开发谐振式加速度传感器
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