中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 (以下简称公司) 是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业，其前身是中科院直属事业单位，创建于1958年，2001年整体转制为有限责任公司，2011年12月整体变更为股份有限公司。公司位于沈阳市浑南新区 (国家高新技术产业开发区) 内，占地面积110亩、建筑面积3.5万平方米，总资产3亿元人民币。公司现有员工350人，其中具有本科以上学历的科技人员占员工总数的60%。
公司以高真空、超高真空、洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得及系统集成。多年来，公司依靠自身的技术和人才优势，创造了多项国内第一，多次打破发达国家技术封锁，研制生产了具有自主知识产权的真空仪器装置2000多台套。公司参加了北京正负电子对撞机、合肥同步辐射、兰州重离子加速器、上海第三代光源、“921”工程等国家重大科学工程的建设，为其提供了先进的技术和成套设备。曾先后获得国家科技进步奖十余项，中国科学院及省部级科技进步奖五十余项，国家级新产品三十余项，拥有专利70余项，是辽宁省、沈阳市的高新技术企业，连续多年获得AAA级资信等级证书。
公司先后组建了“国家分子束外延技术试验基地”和“国家多功能电子能谱仪生产基地”；“辽宁省精密仪器工程技术研究中心”；“国家真空仪器装置工程技术研究中心”；“真空技术装备国家工程实验室”。
公司2000年通过了ISO9001国际质量体系认证；2006年被认定为“沈阳市科技领航型企业”；2007年被辽宁省认定为“技术创新示范企业”；并入选“科技创新示范企业”培育计划；2008年公司企业技术中心被辽宁省认定为“省级企业技术中心”。
公司建立了先进的设计、加工和质量管理体系，产品设计采用三维软件设计，并引入了PDM (产品数据管理) 和CAPP (计算机辅助工艺过程设计) ，进一步提高了产品的设计和生产效率。在产品质量方面，严格执行ISO9001国际质量体系。公司现拥有各类机加设备100多台套，拥有高档数控加工中心及检测设备。在加工、焊接、清洗、表面处理、真空除气等方面具有明显优势，拥有先进的表面工艺生产线、标准厂房、洁净装调间。
公司始终坚持以人为本，追求技术领先。经过半个世纪的发展，造就了创新合作的学习型团队，构建了高起点、高标准的技术平台。
公司以“成为客户首选的真空设备解决方案提供商”为愿景，竭诚为客户提供高品质的产品和超值的服务。

产品展示
真空应用设备
碲化镉太阳能电池镀膜设备
铜铟鎵硒薄膜太阳能电池连续制备设备
大功率电子束物理气相沉积系统
方形四室磁控溅射系统
FHL-600型硬碳膜制备设备
FHL-600型硬碳膜制备设备
DHL-500II型电弧炉甩带机联合设备
DZS-500型电子束蒸发镀膜系统
FJL-560型磁控与离子束复合系统
JGP-450型单室磁控溅射系统
JGP-560梨型单室磁控溅射系统
JGP-560梨型双室磁控溅射系统
LMBE-450型激光分子束外延设备
PLD-300型激光镀膜设备
PLD-450D型激光镀膜设备
PLD-450J型激光镀膜设备
XC-500型甩带机设备
分子束外延设备
Cluster四室PECVD设备
PECVD系列等离子体化学气相沉积镀膜设备
ZH系列多弧刀具镀膜设备
MOCVD金属有机源化学气相沉积系统
高真空OLED多元有机、无机镀膜系统
半球形工件磁控溅射系统
多功能离子束及离子注入设备
热丝CVD设备
小型真空环境模拟设备
金属纳米粉连续生产设备
超音雾化制粉设备
真空钎焊炉系统
真空热压炉设备
场发射测试设备
多工位排气台设备
真空甩丝设备
DZ-450型单室热蒸发真空镀膜机
真空获得设备
罗茨干式真空泵机组 (JGM系列)
罗茨干式真空泵机组 (JGH系列)
罗茨干式真空泵机组 (JGH-4200A)
双侧无油涡旋真空泵 (WX系列)
CC-J系列超高真空手动插板阀
CCQ-J系列超高真空气动插板阀
CC-B系列超高真空手动插板阀
CCQ-B系列超高真空气动插板阀
普通电极引线 (1-3KV/5-160A)
高压电极引线 (5-20KV/5-80A)
普通陶瓷封接组件 (普通电极 1-3KV/5-40A)
高压陶瓷封接组件 (高压电极 5-20KV/5-80A)
真空玻璃观察窗
HB系列焊接波纹管
KF接口波纹管组件
太阳能光伏装备
SD系列大型平板PECVD氮化硅覆膜系统
工业化产品
EB系列电子束蒸发镀膜设备
JGP-800型磁控溅射镀膜设备
碳化硅单晶炉系统
锗单晶炉系统
蓝宝石晶体生长炉

质保体系证书
ISO9001